设备名称
物理化学综合薄膜沉积连用系统
所属分类
仪器设备
型号
生产厂商
台湾铠柏科技有限公司
出厂年月
出厂号
放置地点
B309
产品描述
管理员：侯晓霞
邮箱：houxiaxia@nju.edu.cn
预约系统：https://mesochem.nju.edu.cn
配备分子束外延、电子束蒸发、激光脉冲沉积、磁控溅射、真空热蒸镀、原子层沉积、手套箱和真空样品传送管线
1. 分子束外延-电子束蒸发腔体
2. 脉冲激光蒸发-磁控溅射腔体
3. 真空热蒸镀镀膜仪
4. 微波辅助原子层沉积
5. 一体式真空样品传输管路
6. 样品真空传输系统
