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物理化学综合薄膜沉积连用系统
设备名称

物理化学综合薄膜沉积连用系统

所属分类
没有此类产品
型号
生产厂商
台湾铠柏科技有限公司
出厂年月
出厂号
放置地点
B309
详细介绍

配备分子束外延、电子束蒸发、激光脉冲沉积、磁控溅射、真空热蒸镀、原子层沉积、手套箱和真空样品传送管线

1. 分子束外延-电子束蒸发腔体

2. 脉冲激光蒸发-磁控溅射腔体     

3. 真空热蒸镀镀膜仪

4. 微波辅助原子层沉积

5. 一体式真空样品传输管路

6. 样品真空传输系统

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暂未实现,敬请期待
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