设备名称
扫描式电子显微镜(SEM)
所属分类
仪器设备
型号
VEGA 3SBH
生产厂商
TESCAN
出厂年月
出厂号
放置地点
B109
产品描述
管理员:侯晓霞
邮箱:houxiaxia@nju.edu.cn
预约系统:https://mesochem.nju.edu.cn
灯丝/电子枪:W/LaB6
高真空模式:3 nm@30 kV
8 nm@3 kV
放大倍数:2~1,000,000x
附带电子束曝光模式
1. 普通二次电子检测器(ET-SE)
2. VEGA 3电子束光刻系统(DrawBeam作为配套软件以实现定位精确的电子束光刻)
应用范围:
该仪器具有较高的放大倍数,操作简单,可用于生物、医学、化学、地质等领域的材料表面形貌分析,并附带可实现微纳加工的电子束光刻系统,尤其适用于微纳尺度的材料研究。