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设备名称

扫描式电子显微镜(SEM)

所属分类

仪器设备

型号

VEGA 3SBH

生产厂商

TESCAN

出厂年月

出厂号

放置地点

B109

产品描述

管理员:侯晓霞

邮箱:houxiaxia@nju.edu.cn

预约系统:https://mesochem.nju.edu.cn

灯丝/电子枪:W/LaB6

高真空模式:3 nm@30 kV  

8 nm@3 kV

放大倍数:2~1,000,000x

附带电子束曝光模式

1.     普通二次电子检测器(ET-SE)

2.     VEGA 3电子束光刻系统(DrawBeam作为配套软件以实现定位精确的电子束光刻)

应用范围:

该仪器具有较高的放大倍数,操作简单,可用于生物、医学、化学、地质等领域的材料表面形貌分析,并附带可实现微纳加工的电子束光刻系统,尤其适用于微纳尺度的材料研究。

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